荷蘭 HIGH VOLTAGE濺射潘寧離子源

簡要描述：荷蘭 HIGH VOLTAGE濺射潘寧離子源
HVEE SO-90 型濺射潘寧離子源幾乎可以電離所有熔點不太低的導電固體，包括那些蒸氣壓非常低的固體，如鎢和鉭。

產(chǎn)品型號：SO-90
廠商性質：代理商
更新時間：2025-12-17
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荷蘭 HIGH VOLTAGE濺射潘寧離子源

HIGH VOLTAGE濺射潘寧離子源 MODEL SO-90

High Voltage濺射潘寧離子源 Model SO-90主要特點
? 易于操作和維護
? 低功耗
? 使用壽命長
? 近光燈發(fā)射
? 高亮度

荷蘭 HIGH VOLTAGE濺射潘寧離子源一般描述
HVEE SO-90 型濺射潘寧離子源幾乎可以電離所有熔點不太低的導電固體，包括那些蒸氣壓非常低的固體，如鎢和鉭。
在這個源中，陰極由要電離的元素制成。來自氬氣或氖等離子體放電的正離子撞擊陰極，并將所需的材料濺射到等離子體中。特殊的源幾何形狀導致等離子體中濺射材料的密度高，并且結合
濺射材料的沉積速率低。
每個 SO-90 離子源都包含滿足第一需求的備件。

High Voltage Engineering Europa B.V. 提供的其他類型的 pening 離子源包括：
– SO-60 型冷陰極潘寧離子源 – SO-100 型熱陰極潘寧離子源

熱門產(chǎn)品：

Model SO-90 Model SO-100 Model SO-173 Model SO-173（加長型） SO-173 冷陰極離子源雙等離子體離子源固相離子源射頻離子源氣相離子源液相離子源真空測試真空腔離子源負濺射離子源銫離子槍

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